NPT密封大電流貫通導電スタッド、105～750 A
105–750 A · 5,000 VAC · 漏れ率< 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s
半導体・真空装置用フィードスルーと気密コネクタ
半導体製造装置、真空炉、圧縮機では、漏れを生じずにチャンバー壁を通して電力と信号を伝送する必要があります。
当社の貫通導電スタッドは、5,000 VACで105～1,000 Aを伝送し、漏れ率は1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s未満です。CT-M、ZH28、Kの気密レセプタクルは、壁を通して信号回路を接続します。
コネクタに求められる耐性
漏れ率
0.1 MPaで1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s未満。全数試験。
電流
105 A～1,000 Aの電力スタッド。カスタム設計に対応。
信号
ガラス封着の多極レセプタクル。
温度
標準形は+130 °C、カスタム形は+170 °C、ガラス封着形は+200 °Cまで。
推奨シリーズ
Oリング密封大電流貫通導電スタッド、最大1,000 A
105–1,000 A · ステンレス鋼 · Oリング密封
カスタム大電流電力フィードスルー
お客様の容器に合わせた設計 · 450–750 Aの例 · 最高+170 °C
CT-Mガラス封着気密レセプタクル、−55～+200 °C
ガラス金属封着 · 152 kPaで漏れなし · −55～+200 °C
ZH28ガラス封着気密レセプタクル、3～61コンタクト
ガラス封着 · 3～61コンタクト · −60～+155 °C
Kシリーズ気密レセプタクル（26482タイプ）
26482タイプ · シェル8–24 · 3～61コンタクト
すべてのシリーズで、コンタクト数、ケーブル長、材質、表面処理をカスタマイズできます。
サンプルから量産まで
ご要件の送付
型番、図面、ピン配置、または用途の簡単な説明をご用意ください。
構成選定とお見積り
当社のエンジニアが構成を選定し、図面とお見積りをお送りします。
サンプル
サンプルはご注文に応じて製作します。ご希望により、お客様の仕様に基づく第三者試験にも対応します。
お客様による承認
お客様の装置でサンプルを試験し、承認していただきます。
量産
承認済みサンプルの構成に従って生産します。
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