大電流電気フィードスルー

真空チャンバーや圧力容器を通して105~1,000 Aを供給する密封電力フィードスルー。NPT密封、Oリング密封、カスタム設計。

半導体製造装置、真空炉、圧縮機、圧力容器内の電力機器では、漏れや絶縁破壊を起こさずに密封壁を通して大電流を供給する必要があります。

当社の貫通導電スタッドは、黄銅またはステンレス鋼のボディ内で、銅スタッドをエポキシ絶縁材に成形固定しています。標準形は105~1,000 A、耐電圧5,000 VACに対応し、全数を圧力試験します。差圧0.1 MPaで漏れ率は1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s未満です。

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銅スタッドとナットを備えるNPT密封大電流貫通導電スタッド

シリーズ比較

シリーズ定格電流値耐電圧密封漏れ率温度
NPT密封スタッド105–750 A5,000 VACNPTねじ< 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s−40~+130 °C
Oリング密封スタッド105–1,000 A5,000 VACOリング< 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s−40~+130 °C
カスタム電力フィードスルー450–750 A(例)2,400–5,000 VACOリングまたはフランジ—最高+170 °C

選定方法

電流

標準形は105、275、500、750、1,000 A。それ以外はカスタム設計に対応。

密封方式

NPTテーパ管用ねじ(黄銅ボディ)またはOリング(ステンレス鋼ボディ)。

温度と媒体

標準形は−40~+130 °C、カスタムフランジフィードスルーは+170 °Cまで。媒体に合わせてOリング材質を選択します。

接続

ナット付きねじスタッド、またはカスタム設計の圧着端子。

標準コネクタ以外のオプション

気密信号コネクタ

ガラス封着の多極レセプタクル。

高電圧コネクタ

最大300 Aの着脱式電力コネクタJ599HV。

よくあるご質問

フィードスルーは試験済みですか?

はい。全数を0.8 ± 0.05 MPaで圧力試験し、型式試験は≥ 8 MPaを対象としています。

サンプルから量産まで

  1. ご要件の送付

    型番、図面、ピン配置、または用途の簡単な説明をご用意ください。

  2. 構成選定とお見積り

    当社のエンジニアが構成を選定し、図面とお見積りをお送りします。

  3. サンプル

    サンプルはご注文に応じて製作します。ご希望により、お客様の仕様に基づく第三者試験にも対応します。

  4. お客様による承認

    お客様の装置でサンプルを試験し、承認していただきます。

  5. 量産

    承認済みサンプルの構成に従って生産します。

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型番、ピン配置、または図面をお送りください。エンジニアが1営業日以内にメールで回答します。

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