密封と環境 · 更新日：2026年9月28日
気密コネクタの漏れ率を解説
漏れ率は、所定の差圧でコネクタを毎秒通過するガス量を表します。気密コネクタと真空フィードスルーにとって重要な指標です。
単位と換算
| 単位 | 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/sに相当する値 |
|---|---|
| Pa·m³/s | 1 × 10⁻⁸ |
| mbar·L/s | 1 × 10⁻⁷ |
| atm·cc/s（概算） | 1 × 10⁻⁷ |
（1 Pa·m³/s = 10 mbar·L/s ≈ 9.87 atm·cc/s。）
漏れ率の試験方法
- ヘリウム質量分析式漏れ試験： コネクタを試験治具に取り付け、片側にヘリウムを供給し、反対側で検出器により測定します。10⁻⁸ Pa·m³/s前後およびそれ以下の漏れ率に対する標準的な方法です。
- 圧力降下試験： チャンバを加圧し、時間に伴う圧力低下を測定します。より簡便ですが、感度は低くなります。
- 試験圧力： 漏れ率は差圧を指定して示し、一般的には0.1 MPa（1 bar）です。必ず同じ差圧での値を比較してください。
当社製品の代表値
| 製品 | 記載の密閉性能 |
|---|---|
| J599 Series III気密レセプタクル | 0.1 MPaで≤ 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s |
| GJB599 Series IおよびII気密レセプタクル | 0.1 MPaで≤ 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s |
| 大電流フィードスルースタッド | 0.1 MPaで< 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s |
| CT-Mガラス封着レセプタクル | 差圧152 kPaで漏れなし |
| P-C隔壁フィードスルー | 101 kPaで≤ 0.13 kPa/min |
指定すべき事項
- 最大漏れ率と単位。
- 試験ガスと方法（通常はヘリウム）。
- 差圧と圧力方向。
- 全数試験かサンプル試験か。
- シールが耐える必要のある温度範囲（材料の組み合わせが不適切な場合、温度サイクルでガラスと金属のシールが開くことがあります）。
ご要件に応じて試験し、ご要望があれば第三者試験も実施します。
