밀봉 및 환경 · 수정일 2026년 9월 28일
기밀 커넥터 누설률 해설
누설률은 주어진 압력 차에서 초당 커넥터를 통과하는 가스의 체적입니다. 기밀 커넥터 및 진공 피드스루의 핵심 수치입니다.
단위 및 환산
| 단위 | 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s의 환산값 |
|---|---|
| Pa·m³/s | 1 × 10⁻⁸ |
| mbar·L/s | 1 × 10⁻⁷ |
| atm·cc/s(근사값) | 1 × 10⁻⁷ |
(1 Pa·m³/s = 10 mbar·L/s ≈ 9.87 atm·cc/s.)
누설률 시험 방법
- 헬륨 질량 분석 누설 시험: 커넥터를 시험 지그에 장착하고 한쪽에 헬륨을 공급한 다음 반대쪽에서 검출기로 헬륨을 측정합니다. 약 10⁻⁸ Pa·m³/s 이하 누설률의 표준 시험 방법입니다.
- 압력 감소 시험: 챔버를 가압하고 시간에 따른 압력 강하를 측정합니다. 더 간단하지만 감도는 낮습니다.
- 시험 압력: 누설률은 압력 차에서 명시하며 일반적으로 0.1 MPa(1 bar)입니다. 항상 동일한 압력 차의 값을 비교하십시오.
당사 제품군의 일반적인 값
| 제품 | 명시된 밀봉 성능 |
|---|---|
| J599 Series III 기밀 리셉터클 | 0.1 MPa에서 ≤ 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s |
| GJB599 Series I 및 II 기밀 리셉터클 | 0.1 MPa에서 ≤ 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s |
| 대전류 관통 도전 스터드 | 0.1 MPa에서 < 1 × 10⁻⁸ Pa·m³/s |
| CT-M 유리 밀봉 리셉터클 | 압력 차 152 kPa에서 누설 없음 |
| P-C 격벽 피드스루 | 101 kPa에서 ≤ 0.13 kPa/min |
지정할 사항
- 최대 누설률 및 단위.
- 시험 가스 및 방법(일반적으로 헬륨).
- 압력 차 및 방향.
- 전수 시험인지 샘플 시험인지 여부.
- 밀봉이 견뎌야 할 온도 범위(재료가 맞지 않으면 열 사이클로 유리-금속 밀봉이 벌어질 수 있음).
요청 시 제3자 시험을 포함하여 요구 사항에 따라 시험합니다.
